SFS-H西格玛精密（压电陶瓷）平台—高速·高刚性型

 

SFS-H 系列是在原来的SFS 系列的基础上，提高了承载能力和响应速度而开发的压电陶瓷平台。

它采用压电陶瓷作为驱动件，可以实现开环控制时的行程为90μm-100μm，理论分辨率为1nm 的微小移动。采用了位移传感器（频率-位移转换方式的小位移传感器），在闭环控制时，实现了10nm 的显示分辨率。

和FINE 系列控制器一起使用，可以实现优于0.5%的直线性和高速化。SFS-H60X、40X 可以实现往复运动的频率为10-15Hz（全行，闭环控制时）。

这是一款比较适用于需要高速，高精度定位的装置或实验用途的

注意

此平台的技术参数是指环境温度为20 ± 1 ℃时的值。请在使用之前仔细阅读操作说明书和安装手册等资料。

技术指标是指单个平台时的测量值，而不是和其他零部件组合后的测量值。

技术指标是指在额定载荷，并且是在平台中心承载时的值，而不是指偏载时的值。

精度值是平台正常水平安装使用时的值，如果您需要倒置或垂直使用，请事先向我们确认。

精度值是指平台台面附近的值。

行程是指开环控制时的值。

直线性精度依据的是西格玛光机的测量法。

重复定位精度是闭环控制，采样时间为350µs 时的值。

分辩率是使用FINE-01 或503 时的值平台。

行程（细调）
[μm]自重
[kg]理论分辨率（开环）
[nm]分辨率（闭环）
[nm]直线性误差
[％]直线度（水平方向）
[μm]重复重复定位精度
[μm]承载能力
[N]型号CAD数量

90±15%	0.28	1	10	0.3≥	1	0.1≥	10 （1kgf)	SFS-H40X(CL)
100±15%	0.28	1	10	0.3≥	1	0.1≥	7 （0.7kgf)	SFS-H40Z(CL)NEW
100±15%	0.4	1	10	0.3≥	1	0.1≥	20 （2kgf)	SFS-H60X(CL)
100±15%	0.43	1	10	0.5≥	1	0.1≥	15 （1.5kgf)	SFS-H60XY(CL)
100±15%	0.33	1	10	0.3≥	1	0.1≥	10 （1kgf)	SFS-H60Z(CL)NEW
100±15%	0.63	1	10	0.3≥	1	0.15≥	10 （1kgf)	SFS-H60YZ(CL)NEW