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材料 Material | 高纯度单晶Al2O3 |
晶向 Orientation | C面(0001)±0.3° |
对M轴偏离角度 | 0.20 ± 0.05° |
对A轴偏离角度 | 0.0 ± 0.1° |
直径 Dismeter | 50.8±0.15mm |
厚度 Thickness | 330μm/430μm±25μm |
总厚度偏差TTV | <10μm |
表面总平整度TIR | ≦10μm |
弯曲度 WARP | ≦15μm |
翘曲度 BOW | -10 ~ 0μm |
定位面方向 Primary Flat Location | A面(11-20) |
定位面偏离角度Flat Off-set Angle | 0.0 ± 0.2° |
定位边长Primary Flat Length | 16±0.5mm |
表面粗糙度Frontside Surface Roughness | RA≦3Å(即Ra≦0.3nm) |
背面粗糙度 Backside Surface Roughness (Ra) | Ra=0.5~1.0μm |
包装 Package | 洁净室内真空冲氮包装 |