配置
SG-26M2型旋转冲洗甩干机标配设备1台(双腔)。每腔配4″旋转载体1件，另每腔配双工位2″旋转载体1件，两种规格的旋转载体可实现固定腔位互换使用。
二、部件及特性
1.控制
采用日本技术OMRON可编程控制器及触摸屏、对工艺运行过程实时监控、具有故障诊断及报警功能,可存储999种用户工艺菜单,具有用户工艺保护密码功能。
2．显示
彩色液晶触摸汉显，可显示4位输入、输出数据（转速、时间）。
3．驱动电机
驱动单元采用专门研制的无刷电机驱动，配备专用驱动器，可实现在工作范围内的速度精确设定和控制。
4．管件
进入腔体的管路元件采用美国公司生产的PFA高纯管件。进入腔体的洁净流体控制回路采用日本公司的气控元件，确保设备长期可靠工作。
5．腔体、旋转载体
洁净清洗腔体及花篮载体均采用*新的激光焊接技术及优质不锈钢材料精加工，外表面经电化学氧化抛光工艺处理，腔体后部及腔体门盖均采用进口专用密封圈，花篮载体可方便更换及升级设备便利。
6．电阻率监控
引进专业公司生产的去离子水电阻率监控仪，传感器（Sensor）须经标定校正后使用，测量范围0~18MΩ•cm。
7．烘干氮气加热性能
采用国产高洁净性能加热组件，具有加热组件热保护功能。
8．转轴氮气密封
腔体与旋转电机轴之间采用无接触正压洁净氮气密封，无污染泄漏。
9．氮气过滤器
采用进口技术高洁净两极过滤器。(0.2μm及0.003μm)
10. 腔体加热
在清洗腔体顶部设置有用于航天工业的高性能加热“毯”,以便在*短时间内将“水滴”气化，提高生产效率和防止水滴再污染。
