上海轶强分子泵厂家供应涡轮分子泵直销批发 质优价廉

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涡轮分子泵产品介绍：

   涡轮分子泵是通过多级动、静涡轮叶片相对高速旋转实现抽气的一种机械式真空泵。此涡轮分子泵具有在分子流区域内时抽速大、压缩比高、无油蒸汽污染等特点，且比扩散泵节能高达95%以上。   分子泵利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器和高级电子器件制造等方面。涡轮分子泵的性能和特点:   泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为108～109；对氢为102～104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限真空度为10-9帕，工作压力范围为10-1～10-8帕，抽气速率为几十到几千升每秒(1升=10-3米)。   涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面*大尺寸的流态)下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有工作压力为1～10-2帕的前级真空泵。分子泵本身由转速为10000～60000转/分的中频电动机直联驱动。   此分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应，由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于电子、冶金、化工、科研及真空技术的各个领域。

涡轮分子泵损坏的原因及设计上的安全措施:

   涡轮分子泵损坏的原因可分为设计上的和使用上的两方面的原因造成的。在设计上, 有材料方面的问题。如材质的选择、毛坯的管理( 如转子主轴加工后要垂直放置防弯变形) 材料缺陷的检查等, 还有转子整体的力学分析, 转子叶片的固有频率为转轴转数的整数倍时就会发生动片共振。突暴大气瞬间1.05 s,动片也会弯曲振动可达0.49 mm 经7.5 s 弯曲量可达2.04 mm(试验值)、疲劳, 以及转子叶片与定子叶片间隙的合理选定, 加工精度和装配精度等问题都要慎重考虑。当压力突然升高( 大气冲入)时, 转子的叶片很薄很长, 在大气压力作用下, 会使动片与定片相接触, 使转子叶片被打得七零八落, 损坏严重。由于人们对此现象作了分析研究, 使这种情况可以避免发生。由于轴承的故障也能使定片和动片相接触, 甚至材料缺陷也会造成事故的发生。   在使用上存在的问题也不少, 在泵口处异物的混入, 如玻璃碎片、垫片、螺钉等, 由于泵体是垂直的, 混入的异物会直接落到高速旋转的叶片上造成事故。泵抽入腐蚀性气体, 如三甲基镓Ga(Cspan)3 和三乙基镓GA(C2H5)3 等。在抽吸这种气体时, 它会与转子的铝合金材料起化学反应, 转子的晶界受到腐蚀破坏, 随着气体的压力和浓度的不同, 其破坏的速度也是不同的, 少则几周, 多则几个月。   一般将转子叶片进行表面处理, 如制备氧化铝膜或电镀处理等。这样作多少有些改善。但是,材料作到完全没有气孔、针孔, 实际上是不可能的, 就现实而言, 排除上述气体不应该使用普通的涡轮分子泵, 而用专用的涡轮分子泵, 如陶瓷转子耐腐蚀。   在抽吸反应性气体时, 气体在泵内遭到压缩、压力增高, 若残余气体成分中水分增加或气体温度遇冷处降低, 其固体生成物会在泵内的间隙处堆积。在转子高速旋转过程中, 这些堆积的固体生成物会与回转体的部分或接触或粘结其上。在这种情况下, 运动的叶片就会遭到损坏。此外, 使用油润滑的轴承这种反应性气体会使润滑油变质, 恶化, 使轴承出现故障, 使回转体损坏。为了减少固体的生成物, 要提高泵温。在半导体制备过程中, 在低压过渡流区域10 Pa 左右时抽除大量的气体会在运转过程中磨擦发热, 使转子叶片, 转子筒的温度增加。一般的铝合金材料, 在150 以上由于它的蠕变特性, 材料的机械强度急剧下降。因此, 回转体的温度上升, 在高速回转时, 可能由于离心力而使叶片遭到破坏的可能性也是有的。设计上的安全措施:   在转子设计时, 要进行回转体整体的应力分析, 通过有限单元法计算和电测应力法加以验证, 也有用电镜进行组织结构观察。要避免应力集中, 气体负荷的安全率要合理设定。高速回转体要做精密的动平衡, 动平衡取重时要避免裂纹产生, 以防腐蚀, 疲劳破坏。有时要作超转数试验以考核零件强度。   前苏联书籍中给出许可的不平衡量为:D 许可= 6.4m/n ( g·cm)式中m—— —转子的质量, gn—— —转子的转数, r/min.工业用的涡轮分子泵叶片顶端的圆周速度约为150~200 m/s, 而近代的涡轮分子泵的圆周速度则高达350~450 m/s。由于受材料强度所限很少再高的。因此在叶片的设计上引入等强度的概念, 使叶片的根部的厚度或宽度向外逐渐变薄或变窄。也有在叶片边缘处加圆环或轮箍的以增加叶片的刚度和强度。

                                    涡轮分子泵

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