惯性传感器
产品介绍
First Sensor具有高度创新的技术平台,为地球工程,状态检测和导航应用制造高精度的惯性传感器。MEMS传感器可以灵活定制以适应您的个性化应用需求。
倾角和加速度计电容式倾斜仪和加速度计是基于单晶硅传感器元件和利用国家的先进的微机械加工技术,实现大信噪比和优良的温度稳定性。因此他们能检测在倾斜或加速度非常小的变化。
由于高宽比微结构(HARMS)传感器具有极低的交叉轴灵敏度。此外,专利的高灵活度的AIM(气隙绝缘微结构)技术大限度地减少寄生电容。
评估板可用不同的评估板简单快速地读出传感器数据。
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PDF-Flyer: MEMS inertial sensors
性能特点技术规格
Inclinometer parameterSI-11.S1.C-30SI-11.P3.C-30UnitMeasurement range±30±30°Resolution @ 10 Hz < 0,0015< 0,0040°Scale factor (repeatability) ±35±50ppmScale-Faktor (Temperaturkoeffizient) ±50±50ppm/KBias (repeatability)±0,0030±0,0045°Bias (temperature coefficient)±0,0025±0,0030°/KNoise density< 0,0004< 0,0015°/√HzMeasuring frequency400800HzDigital interfaceSPISPI/I²COperating temperature-40 … 85-40 … 120°C
技术规格
Parameter AccelerometerSA-13.S1.C-8SA-14.S1.C-15UnitMeasurement range±8±15gResolution @ 10 Hz < 65< 95µgScale factor (repeatability) ±35±35ppmScale factor (temperature coefficient) ±50±50ppm/KBias (repeatability)±260±470µgBias (temperature coefficient)±105±175µg/KNoise density< 20< 30µg/√HzMeasuring frequency400400HzDigital interfaceSPISPIOperating temperature-40 … 85-40 … 85°C
输出信号 : First Sensor惯性传感器 ;
制作工艺 : 电容 ;
种类 : 电容 ;
型号 : First Sensor ;
品牌 : First Sensor ;
加工定制 : 是 ;