金属台面尺寸:(MM)340*152
玻璃台面尺寸:(MM)196*96
X坐标行程:(MM)150
Y坐标行程:(MM) 50
Z坐标行程:(MM)90调焦
仪器测量精密度:3+L/200
X、Y坐标数显分辨率:0.5um
1各部分用料及参数
A、投影屏
1、投影屏尺寸(MM)Φ312,使用范围大于Φ300,采用日本光刻技术,刻有米字线。
2、投影屏旋转范围:0-360o
3、旋转角度数显分辨率:1′或0.01o,采用日本旋转编码器。
B、物镜
1、放大倍数: 10X(必备) 20X(选) 50X(选) 100X(选)
2、物方线视场(MM):Φ30 Φ15 Φ6 Φ3
3、物方工作距(MM):77.7 44.3 38.4 25.3
C、数距处理系统
E、冷却方式:强制风冷(3只进口滚珠轴流风机)
F、仪器电源:110V/220V(AC)50/60HZ,总功率400W
G、仪器尺寸:长*宽*高(MM):770*550*1100
H、X、Y工作台采用球墨铸铁铸造、精密加工而成,采用特殊定型稳定化处理,大大提高测量精度与稳定性。
传动方式:采用日本无牙光杆传动。