未核实，仅供参考DSP-1200-PECVD转动式PECVD系统
这款转动式PECVD系统可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀，炉体的一端安装有铰链，另一端安装有升降支撑杆，可大角度倾斜，方便出放料
DSP-1200-PECVD转动式PECVD系统，由DSP-1200真空转动管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。
一、主要特点：
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
6、炉管可360度旋转、物料焙烧起来温场更加均匀。
这款DSP1200-PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，炉管两端能不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10-3 Pa，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、价格优惠等优点。 是高校、科研院所、工矿企业做电池正负级材料增强等离子烧结（例如：LiFePO4 / LiMnO4/ Li(NiCoMn)O4 负极碳等）、气氛还原、粉体或颗粒物翻转焙烧的理想产品。
开盖保护系统：该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者的安全。
密封系统：该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。
真空系统（选配）：能够抽到10-1Pa真空泵和能够抽到10-3Pa的分子泵。
炉膛材料：采用日本进口炉膛材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强。
加热元件：采用优质电阻丝使用使用长，温场均衡。
漏电保护功能：该炉装了漏电空气开关，当炉体漏电时自动断电，以确保使用的安全性。
供气系统（选配）：该炉配有浮子流量计，客户可通过浮子流量计或质子流量计控制气体的流速（详细请查看选件）。
法兰：采用双环密封技术，有效的提高了法兰的气密性，法兰上装有多种接头，可接电阻真空计、KF25波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。
二、技术参数：
DSP-1200-转动真空管式炉 | 型号 | DSP-1200-PECVD-I | ||||
功率 | 3.5KW | |||||
炉管尺寸 | Dia 60(OD) X1200mm | |||||
外形尺寸 | 1300420X1200 | |||||
电源电压 | 220V | |||||
相数 | 单相 | |||||
加热元件 | 电阻丝 进口 瑞典Canthal A1 （电阻丝可承诺保修2年）
进口电阻丝 VS 国产电阻丝 | |||||
控制方式 | 采用宇电程序控温仪表 1、30段程序控温只能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能
FP93控温仪表（日本岛电）（更换进口仪表，需要另外付费） 1、40段程序控温可以分成4、2、1组程序，如果分成4组程序，每条程序为10段， 2、6组PID控制，低、中、高温可以各用一组PID ，这样每个温度段都能够控制得很准确。 3、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 4、仪表有华氏度（F）和摄氏度（C）可供选择 5、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 6、具有自动停机功能 7、可以储存多组程序、使用时可以任意调出。 8、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 9、仪表上有输出功率、程序执行的段数和执行时间、程序处于升温、恒温、降温状态的显示。 10、仪表具有跳步功能（即仪表可以跳个这一步直接执行下一步。 11、仪表具有温度自整定的功能。
| |||||
控温模式 | 智能PID | |||||
断偶保护和显示 | 有 | |||||
过温保护 | 有 | |||||
过流保护 | 有 | |||||
炉膛材料 | 氧化铝多晶体纤维（日本进口）
进口炉膛 VS 国产炉膛 | |||||
控制精度 | +/- 1 ℃ | |||||
触发器 | 移相触发 | |||||
电器 | 浙江正泰 | |||||
可控硅 | 106/16E 德国西门康 | |||||
*高温度 | 1200 ℃ | |||||
额定温度 | 1100 ℃ | |||||
升温速率 | ≤30 ℃/ Min （可根据要求修改） | |||||
推荐升温速率 | ≤15 ℃/ Min | |||||
热电偶型号 | K型 | |||||
加热段长度 | 400mm | |||||
| 日本岛电FP93仪表与电脑连接 控制和记录软件（选购） | COM变USB接口电脑与炉子连接的数据线 FP93控温仪表软件 FP93控温仪表软件安装步聚 FP93温控仪表软件使用说明 | |||||
真空法兰 |
铰链式法兰（选购） 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购）
水冷法兰（选购）
卡套式法兰（选购）
普通法兰 | |||||
电器认证 |
| |||||
| 转动电机功率 | 40W | |||||
| 电动推杆功率 | 40W | |||||
| 电炉可倾斜角度 | -10 ~ 30度 | |||||
| 炉管旋转速率 | 采用无级变速电机 转速可在1-25转/min 之间可调 | |||||
四周表面温度 | ≤45℃ | |||||
等离子体射频电源
| 功率输出范围 | 0-500W | ||||
*大反射功率 | 10W | |||||
信号频率 | 13.56MHZ±0.005% | |||||
噪声 | <30 dB | |||||
冷却方式 | 空气冷却 | |||||
输入电源 | 208-240V 50/60HZ | |||||
供气系统主要参数
| 标准量程 | 采用质子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择量程） | ||||
准确度 | ±1.5% | |||||
气压降 | <0.01MPa | |||||
重复精度 | ±0.2% F.S | |||||
*大工作压力 | 3MP | |||||
VS-0.1抽气系统
| 电源 | 220V/ 380V 380W | ||||
抽气速率 | 2L/S | |||||
电阻真空计 | ZDR-I | |||||
真空度测量范围 | 0.1-10 5 Pa | |||||
真空泵 | VRD-8 | |||||
波纹管 | KF25X1000mm | |||||
系统真空度 | 10 -1Pa | |||||
实物图片
