半导体精密陶瓷零部件
半导体的关键性制程均需于干净无尘的环境内施行,而且零件是处于高温、真空状态以及具腐蚀性的气体环境中运作,有鉴于此,由于精密陶瓷能在严苛的化学环境下仍能保持高度的稳定性,而低膨胀系数、抗高温潜变、高绝缘电气特性、高密度(3.92g/cm3以上)、无污染、抗氧化及高硬度的机械性质等多样特性,均能在半导体制程中展现高度的优势。
陶瓷研磨盘/检测平台
本品为99.5高纯氧化铝陶瓷材料,适合于晶体、陶瓷、玻璃等脆性材料的研磨,其主要优点是耐磨性好,平面度高,容易清洗。清洗后能够完全把上一道的粗磨料处理掉,不会像其他材料那样有上一道的粗磨料嵌入到陶瓷盘里。
产品规格:5inch, 6inch, 7inch, 8inch, 9inch, 9.5inch,可根据客户要求定制各种规格;
平整度:≤0.002mm
材料:99.5%氧化铝陶瓷
其它半导体用精密陶瓷部件
机械手臂
陶瓷环
喷嘴
瓷钉/瓷螺母
其它机械易损件