详细说明
特征 应用 直线度可达10um X轴*大6m Y轴05m行程以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台良好接地设计防止杂讯干扰 Z向震动可达纳米等级以下*大速度可达5m/s 标准重现精度1um或以下位置回馈系统解析度*低可达50nm 应用: 半导体设备自动化搬送 FPD设备太阳能制造设备 PCB设备水刀设备钻石切割产业 AOI检测设备
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