二手膜厚仪

EX-3000手動測量台型規格表

壹.螢光X線控制部:

1. X線源:油浸式小型微小焦點X線管.50KV管電壓，可變管電壓。
2. 照射方式：由上而下垂直照射方式。
3. 檢出器：比例計數管。
   1. 濾波器：採用Co和Ni雙濾波器及數位式濾波器，可單一或同時使用。
4. 準直儀：Collimator採用五種孔徑一體成型式，可自動切換使用。

              0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0ψ㎜.

       (選購)0.05×0.5, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5ψ㎜.

       (選購)0.05, 0.1, 0.2, 0.3, 0.5ψ㎜.

1. 樣品觀測系統：彩色CCD及高畫質顯示幕。
2. 多能譜分析器：使用256高頻分析器，光譜自動分析，在執行測量及運算時，非常快速。

貳.電腦操作部:

1. 電腦系統：(专用)
2. 本機型(EX-3000系列)之操作系統採中文視窗(Windows98)對話式操作，非常簡便。

    特性說明:

1. 測量項目：

w      單層膜厚測定.  

w      2層膜厚測定.

w      3層膜厚測定.  

w      合金膜厚成份比同時測定.

w      化學鎳膜厚測定.

w      壓鑄鋅底材上鍍銅、鎳二層膜厚同時測定.

w      元素的光譜峰值測定分析.

1. 測量材質：原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發法測量。  原子序22以下為吸收法測量。
2. 測量範圍：原子序22 ~ 24， 約0.2 ~ 20 um.        原子序25 ~ 40， 約0.1 ~ 30 um.  原子序41 ~ 51， 約0.2 ~ 70 um.  原子序52 ~ 82， 約0.05~ 10 um.
3. 測量機能：

w      同一點重複測定機能

w      輸出形式設定.

w      能譜測定.

1. 測量條件或膜厚規格可以保存.

當要測量相同圖樣軌跡的製品時，若測量條件已儲存時，可以馬上進行測量。

*大檢量線檔案數：可登錄儲存100組檔案。

*大測量檔案數：可登錄儲存300組檔案。

1. 檔案記錄：

w      每一個批號可儲存無限個測量資料.(因各型電腦之容量大小而定)

w      每一個測量檔案可輸入及儲存公司名稱.

w     每個批號可單獨執行統計處理.

w      每個測量檔案可輸入不同的檢量線(校正曲線).

w      每個測量檔案可輸入統計處理方式.

1. 資料處理：

w      統計值表示：平均值、標準偏差、*大值、*小值、上下限值範圍、Cp、Cpk。

w            X-R管制圖.

w            柱狀圖：有自動設定及自己任意設定二種方式。

w            測量資料輪廓剖面分佈圖。

w            測量資料三次元輪廓剖面分佈圖。

w            可彩色列印觀物顯示幕上所觀測之圖像。

1. 底材補正：當樣品與標準片的底材不同時，可作底材補正。
   1. 觀物顯示幕：十字刻度線的高解析度彩色觀物顯示幕。

肆.安全裝置.

1. 本機俱有自動安全斷電系統功能.
2. 由鎖匙開關來控制X線輸出，以防止外人任意操作.

伍.其他機能.

1. 密碼辨識功能.
2. 裝置維護調整.

陸.設備尺寸：

1. 測定部：外觀尺寸：602(W)×463(D)×732(H)㎜.

重  量： 約55 Kg.        

1. 測量樣品限制.

      樣品限制高度：150㎜

   樣品限制重量：3 kg.

柒. X-Y-Z軸可移動式測量台.

1. 測量台尺寸及移動量.

測量台尺寸         170×110 mm，

移動量(X-Y-Z軸)   70×70×50㎜.

捌.使用電源.

1. 電壓:AC100V±10V；50/60Hz

(選購)AC110V，AC220V.

1. 測定主機容量: 700VA.
2. 操作主機容量: 300VA.